Он обладает хорошей термостойкостью, термической стабильностью, теплопроводностью, высокотемпературной диэлектрической прочностью и является идеальным материалом для рассеивания тепла и высокотемпературным изоляционным материалом. Нитрид бора обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять выщелачиванию большинства расплавленных металлов. Он также обладает хорошими самосмазывающимися свойствами. Изделия из нитрида бора имеют низкую твердость и могут быть обработаны с точностью до 0,005 мм.
Параметр производительности PBN
Свойства нитрида бора.
Отличная устойчивость к тепловому удару
Высокое сопротивление - исключая аэрозоли, покрытия и ZSBN
Низкая плотность
Высокая теплопроводность
Анизотропный
Устойчивость к коррозии
Хорошая химическая инертность
Высокотемпературный материал
Не смачивается
Высокая прочность диэлектрического пробоя
Низкая диэлектрическая проницаемость
Отличная технологичность
Применение нитрида бора.
Кольца разрушения для непрерывной разливки металлов
Приспособления для термической обработки
Высокотемпературные смазочные материалы
Разделительные агенты для пресс-форм
Литье из расплавленного металла и стекла
Форсунки для переноса или распыления
Лазерные сопла
Держатели катушек индукционного нагрева
Прокладки
Электрические изоляторы для высоких температур и высокого напряжения
Опоры печей, требующие удельного сопротивления
Расплавы и контейнеры для расплавленных металлов высокой чистоты
Радарные узлы и антенные окна
Разрядные каналы ионных движителей
Характеристики пиролитической керамики из нитрида бора
Пиролитический нитрид бора (PBN) относится к гексагональной кристаллической системе и может достигать 99,999% чистоты, устойчив к кислотам и щелочам, устойчив к окислению, имеет хорошую теплопроводность, плотный и пригодный для обработки. Он производится путем химического осаждения из паровой фазы (CVD) аммиака и галогенидов бора при высокой температуре и в условиях высокого вакуума, и может быть использован для подготовки как листов PBN, так и конечных продуктов PBN, таких как тигли, лодки и покрытия.
Пиролитический нитрид бора отличается от обычного горячепрессованного нитрида бора (HBN) тем, что он не проходит традиционный процесс спекания в горячем прессе без добавления агента спекания, поэтому получаемые продукты обладают следующими замечательными свойствами.
1, нетоксичен и безвкусен.
2、 Высокая чистота, достигающая более 99,999%.
3、Не реагирует с кислотами, щелочами, солями и органическими реагентами при комнатной температуре, слегка корродирует в расплавленных солях и щелочных жидкостях, но может противостоять коррозии различных кислот при высоких температурах.
4, а большинство расплавленных металлов, полупроводников и их соединений не вступают в реакцию.
5、Хорошие антиоксидантные свойства при температуре ниже 1000℃.
5, хорошая устойчивость к тепловому удару, 2000 ℃ в воде не видно трещин.
6、Высокая рабочая температура, нет точки сублимации, разлагается непосредственно на B и N выше 3000℃.
7, высокое сопротивление, хорошие электроизоляционные свойства.
8, гладкая поверхность, отсутствие воздушных отверстий, и большая часть полупроводникового расплава не смачивается.
Применение пиролитического нитрида бора
Из-за особенностей процесса CVD детали из пиролитического нитрида бора обычно имеют толщину стенок не более 3 мм. Однако процесс CVD придает пиролитическому нитриду бора почти идеальную слоистую структуру, что приводит к анизотропной теплопроводности, которая делает его идеальным для изготовления тиглей для выращивания кристаллов.
Применение продукта.
1、 Испарительные установки для светодиодов.
2、 Тигли для выращивания монокристаллов полупроводников (VGF, LEC).
3、 Тигель для испарения при молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE).
4、MOCVD нагреватель.
5、 Лодка поликристаллического синтеза.
6、 Инфракрасное окно PBN.
7、 Микроволновая трубка для спутниковой связи.
8、 Несущая плита с покрытием PBN.
9, высокотемпературное, высоковакуумное оборудование изоляционной плиты.
Пиролитический нитрид бора керамический зажимной стержень
Спиральная линейная трубка бегущей волны в качестве основного мощного микроволнового усилителя, является ключевым компонентом радара, электронных средств противодействия, релейной связи, спутниковой связи, телевизионного спутника, навигации, дистанционного зондирования, дистанционного управления и телеметрии и другого электронного оборудования, в оборудовании национальной обороны, таком как радар миллиметровых волн, спутник, воздушная связь и электронные средства противодействия и другие области имеют важную роль и широкие перспективы применения.
Зажимной стержень в виде спирали Traveling-wave tube в невесомых частях в основном играет четыре роли, первая - в оболочке зажимной спиральной линии, вторая - обеспечение тонкопленочного аттенюатора "носителя", третья - роль в теплопроводности, тепло, генерируемое в трубке к внешней поверхности оболочки своевременно, четвертая - производительность зажимного стержня, связанная с высокочастотными характеристиками спирали Traveling-wave tube, такими как стоячая волна, фазовая скорость и др. Высокая рабочая частота и малый размер спиральной трубки Traveling-wave выдвигают чрезвычайно высокие требования к зажимному стержню, в основном в прямолинейности изделия до 0,01 мм, шероховатости поверхности Ra ≤ 0,6 мкм, высокой точности размеров до ± 0,005 мм, и сложной форме. Материал зажимного стержня диэлектрические потери угол тангенса значение низкое, низкая диэлектрическая проницаемость, высокотемпературная теплопроводность и другие аспекты, обычно используемые оксид алюминия и оксид бериллия больше не могут соответствовать техническим требованиям.
Пиролитический нитрид бора код PBN керамический материал является своего рода нитрида бора керамической пластины подготовлены методом осаждения пара, из-за нетоксичных, высокотемпературных теплопроводность распада мала (в пределах 300 ° C почти не распадается), низкая диэлектрическая проницаемость и другие характеристики, чтобы стать одним из предпочтительных материалов для сверхвысокой мощности бегущей волны трубки зажимного стержня. Размер, потому что толщина пластины более фиксированной обычно только 0,8 мм, 1 мм, 1,2 мм, 1,5 мм несколько спецификаций, и гораздо больше, чем размер зажимного стержня продуктов, поэтому площадь обработки поверхности нитрида бора подложки до 100%. Во время обработки, учитывая теплопроводность материала PBN в направлении осаждения, т.е. толщина и длина или ширина, существует большая разница в теплопроводности.
Между тем, из-за низкой насыпной плотности зажимного стержня из нитрида бора, эластичности самого материала, сложности повторного позиционирования при обработке изделия, случайности размера, формы и распределения абразива обрабатываемого шлифовального круга, сложности закона движения шлифования, это создает большие трудности для исследования механизма шлифования зажимного стержня из нитрида бора. Однако, нынешняя отсталость высокоточной обработки высокоточных керамических зажимных стержней из нитрида бора не может удовлетворить высокоточные требования к этому продукту, и отечественные производители должны импортировать высокопроизводительные зажимные стержни PBN через аномальные каналы.
Поэтому проведение исследований по технологии обработки высокоточных зажимных стержней из нитрида бора, разработка разумного процесса обработки и метода контроля для обеспечения работоспособности подложки зажимных стержней из нитрида бора и повышения точности размеров изделия стало актуальной технической проблемой для специалистов в этой области.
Производительность зажимного стержня
Допуск по ширине ±0,005 мм
Допуск по высоте ±0,005 мм
Симметрия 0,01 мм
Шероховатость поверхности Ra＜0.6μm
Перпендикулярность 0,01 мм
Прямолинейность 0,01 мм
